分篮倒片器

基本信息

申请号 CN202121337414.5 申请日 -
公开(公告)号 CN216084822U 公开(公告)日 2022-03-18
申请公布号 CN216084822U 申请公布日 2022-03-18
分类号 H01L21/677(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 苏荣义;白玉麟;张堪;谢琼震;韩建威;龚小龙;孙晨光;王彦君 申请(专利权)人 天津中环领先材料技术有限公司
代理机构 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 代理人 薛萌萌
地址 214200江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种分篮倒片器,包括推板、把手,推板后端设置有把手;推板前端为弧形面,且在端面上设有凹台。本实用新型有益效果:解决目前倒片器无法实现分篮及单片、多片硅片转移操作的问题,且倒片器与硅片的接触面为弧形面能够有效避免对硅片的损伤。