分篮倒片器
基本信息
申请号 | CN202121337414.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216084822U | 公开(公告)日 | 2022-03-18 |
申请公布号 | CN216084822U | 申请公布日 | 2022-03-18 |
分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 苏荣义;白玉麟;张堪;谢琼震;韩建威;龚小龙;孙晨光;王彦君 | 申请(专利权)人 | 天津中环领先材料技术有限公司 |
代理机构 | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 | 代理人 | 薛萌萌 |
地址 | 214200江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供了一种分篮倒片器,包括推板、把手,推板后端设置有把手;推板前端为弧形面,且在端面上设有凹台。本实用新型有益效果:解决目前倒片器无法实现分篮及单片、多片硅片转移操作的问题,且倒片器与硅片的接触面为弧形面能够有效避免对硅片的损伤。 |
