一种蒸镀装置
基本信息
| 申请号 | CN202121581316.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215050643U | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN215050643U | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | C23C14/26（2006.01）I;C23C14/04（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张耀辉;宗璐 | 申请（专利权）人 | 合肥联顿恪智能科技有限公司 |
| 代理机构 | 泉州企记知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 许寿宁 |
| 地址 | 230601安徽省合肥市经济技术开发区青龙潭路产业园研发楼D1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种蒸镀装置，包括一真空腔室，所述真空腔室内具有若干个相互独立的工位，所述工位上转动连接有多个蒸发源，所述蒸发源包括可加热的容器和对容器进行加热的电加热器，所述工位上还具有供电件，所述供电件包括第一导电部和第二导电部，所述第一导电部和第二导电部分别与外部供电源电性连接，所述电加热器具有与供电件保持滑动接触和电性连接的连接部，以使同一工位上多个蒸发源转动时，有且仅有一个蒸发源的电加热器的连接部与第一导电部保持滑动式电性连接，有且仅有一个蒸发源的电加热器的连接部与第二导电部保持滑动式电性连接。本装置结构简单，能够实现连续镀膜。 |
