超声键合制备倒装焊盘的方法
基本信息
| 申请号 | CN201910997953.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112768361A | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN112768361A | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | H01L21/48(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 詹创发 | 申请（专利权）人 | 湖北方晶电子科技有限责任公司 |
| 代理机构 | 东莞市中正知识产权事务所（普通合伙） | 代理人 | 侯来旺 |
| 地址 | 443600湖北省宜昌市秭归县茅坪镇建东大道197号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种超声键合制备倒装焊盘的方法，包括超声键合机、塑封机和研磨机，包括以下步骤：步骤A、在半导体衬底上形成导电层；步骤B、使用超声键合机将钢球焊接固定在导电层上；步骤C、使用塑封机在半导体衬底上填充绝缘树脂层，且绝缘树脂层并将钢球包裹；步骤D、使用研磨机对步骤C中的绝缘树脂层进行研磨，研磨至将钢球的顶部露出绝缘树脂层并使钢球的顶部磨平；步骤E、在钢球的被磨平顶面喷淋易焊金属保护层。本发明的方法操作便捷，有利于降低环境污染，环保性能好，有利于降低制作成本，同时制作的成品质量稳定可靠，并且也大大提高了加工的效率，适用性强。 |
