半导体封装结构的晶片研磨装置

基本信息

申请号 CN201921821762.2 申请日 -
公开(公告)号 CN210909500U 公开(公告)日 2020-07-03
申请公布号 CN210909500U 申请公布日 2020-07-03
分类号 B24B37/00;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34 分类 -
发明人 李国琪 申请(专利权)人 湖北方晶电子科技有限责任公司
代理机构 宜昌市慧宜专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 夏冬玲
地址 443699 湖北省宜昌市秭归县茅坪镇建东大道197号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体封装结构的晶片研磨装置,它包括传送带,所述传送带环绕转轮与转轮配合;转轮通过转轴与支架连接,支架底部连接有底座;支架顶部与顶板连接,顶板下表面连接有研磨装置;传送带上表面铺设有多个晶片盒连接成的运输板与研磨装置配合。该装置通过将晶圆材料放置在集合了限位功能的晶片盒内,利用高度可调节的研磨装置对晶片进行研磨,并且增设了高度监控装置和厚度控制设备,解决了现有技术效率较低的问题,具有结构简单,效率较高的特点。