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一种晶圆夹具

基本信息

申请号 CN201911201105.2 申请日 -
公开（公告）号 CN111128842A 公开（公告）日 2020-05-08
申请公布号 CN111128842A 申请公布日 2020-05-08
分类号 H01L21/683 分类 基本电气元件;
发明人 孔剑;李志华;刘景业;徐晨晨 申请（专利权）人 东台镭创光电技术有限公司
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人 董建林
地址 224200 江苏省盐城市东台经济开发区中欧产业园4号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种晶圆夹具，属于芯片加工技术领域，包括主臂以及与主臂转动连接的侧臂，所述侧臂连接有长度能够调节的伸缩臂，所述伸缩臂的末端设有吸盘，所述主臂的底部设有限位槽。本发明操作方便，夹持牢固性高，晶圆不易滑落摔碎。