一种晶圆夹持装置
基本信息
| 申请号 | CN201911201117.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110993555A | 公开（公告）日 | 2020-04-10 |
| 申请公布号 | CN110993555A | 申请公布日 | 2020-04-10 |
| 分类号 | H01L21/687 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 孔剑;臧晓园;徐晨晨;刘景业 | 申请（专利权）人 | 东台镭创光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董建林 |
| 地址 | 224200 江苏省盐城市东台经济开发区中欧产业园4号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆夹持装置，包括夹持臂、连接组件和至少三个晶圆夹钩；所述夹持臂的侧面设有吸气口，所述夹持臂内部安装有与所述吸气口相连的抽气机构；所述连接组件包括与所述夹持臂底部固接的竖轴、与所述竖轴垂直固接的横轴以及设于所述横轴外围的圆环，所述圆环能够以横轴为中心转动；所述晶圆夹钩安装于所述圆环且能够相对圆环移动。本发明能够高效夹取竖向或横向放置的晶圆。 |
