一种用于倒装焊的液压装置
基本信息
| 申请号 | CN202010064151.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111390465B | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN111390465B | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | H01L21/603（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 周文洪;刘斌;金迎春;黄立 | 申请（专利权）人 | 武汉高芯科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑飞 |
| 地址 | 430205湖北省武汉市东湖开发区黄龙山南路6号2号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于倒装焊的液压装置，包括下压装置，下压装置包括装置主体及安装板；装置主体内设有用于盛装高压液体的空腔及多滑道，各滑道位于空腔下侧，安装板的上表面设有多个压力柱，各压力柱滑动于各滑道内，空腔内可通入高压液体推动各压力柱向下运动。本发明根据液压的等压强原理以及分散的压力柱替代整块的高平整度高硬度的夹具，压力均匀地分散到每一根压力柱，且不受样品表面高低形貌影响，从而最终材料表面各个区域压力也相同，凸点形变和互连效果能保持一致。倒装焊互连效果不会因材料平整、颗粒污染等产生局部过压或欠压的问题；高度自适应作用使倒装焊可以完全不需要找平，省去了设备高精度万向头的成本，同时提高倒装焊效率。 |
