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一种吸气剂悬空的非制冷红外探测器及其制作方法

基本信息

申请号 CN202210136270.X 申请日 -
公开（公告）号 CN114203744A 公开（公告）日 2022-03-18
申请公布号 CN114203744A 申请公布日 2022-03-18
分类号 H01L27/146（2006.01）I;H01L23/26（2006.01）I;G01J5/48（2006.01）I;G01J5/20（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 黄立;马占锋;王颖;王春水;高健飞 申请（专利权）人 武汉高芯科技有限公司
代理机构 北京汇泽知识产权代理有限公司 代理人 吴静
地址 430205湖北省武汉市东湖开发区黄龙山南路6号2号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及半导体领域，具体涉及一种吸气剂悬空的非制冷红外探测器及其制作方法，包括如下步骤：S1、在读出电路上制作金属层并图形化，在非像元区形成两个金属电极；S2、在读出电路和金属电极上制作牺牲层并图形化；S3、在步骤S2制作完成的结构上沉积吸气剂材料；S4、去除所需吸气剂图形之外的部分吸气剂材料，形成所需的吸气剂；S5、在读出电路上的像元区制作像元结构；S6、将牺牲层释放，使吸气剂悬空；S7、采用电激活的方式激活吸气剂，再进行封装。本发明将吸气剂集成到芯片端，并将吸气剂设计为悬空结构，且采用电激活，可以有效避免热激活时的高温对热敏材料的影响，还可以避免激活时产生的热对芯片的影响。