卧式炉管用排片舟

基本信息

申请号 CN202022680789.3 申请日 -
公开(公告)号 CN213366550U 公开(公告)日 2021-06-04
申请公布号 CN213366550U 申请公布日 2021-06-04
分类号 H01L21/673 分类 基本电气元件;
发明人 李晓佳;王毅 申请(专利权)人 扬州杰利半导体有限公司
代理机构 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 葛军
地址 225008 江苏省扬州市邗江区维扬经济开发区创业园中路26号
法律状态 -

摘要

摘要 卧式炉管用排片舟。提供了一种结构简单,方便加工,充分利用空间的卧式炉管用排片舟。包括设于炉管内的板状舟体,所述舟体上均布设有限位单元,所述限位单元包括四只插棒,所述插棒可拆卸连接在舟体上;所述舟体沿炉管中心线方向的底部两端分别设有倒角,所述倒角的端面可拆卸设有定位部。所述定位部的截面呈三角形。所述定位部的截面呈扇形。所述定位部上设有定位销,所述倒角的端面设有定位槽,所述定位销连接在定位槽内。本实用新型方便加工,操作可靠。