一种低中压台面TVS产品的PN结钝化工艺专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种低中压台面TVS产品的PN结钝化工艺

基本信息

申请号	CN202011473058.X	申请日	-
公开（公告）号	CN112582480A	公开（公告）日	2021-03-30
申请公布号	CN112582480A	申请公布日	2021-03-30
分类号	H01L29/861(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	崔丹丹;裘立强;王毅	申请（专利权）人	扬州杰利半导体有限公司
代理机构	扬州市苏为知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	葛军
地址	225008江苏省扬州市邗江区维扬经济开发区创业园中路26号
法律状态	-

摘要

一种低中压台面TVS芯片的PN结钝化工艺。提供了一种生产成本低，有效提升TVS产品耐压能力及可靠性的低中压台面TVS芯片的PN结钝化工艺。包括以下步骤：S1、扩散；在晶片表面沉积一层磷和硼，形成P+‑N‑N+结构；S2、选择性光刻；将晶片区域化成晶粒，并在晶粒表面将待蚀刻的区域暴露出来，其它区域用光阻剂保护；S3、沟槽蚀刻；对晶粒表面暴露出来的区域进行蚀刻；S4、SIPOS膜；S5、绝缘钝化；在SIPOS膜表面形成一层致密的SIO2膜；S6、电极面氧化膜去除；S7、金属化：在晶片表面镀一层电极金属，加工完毕。本发明在工作中，将SIPOS膜钝化与SiO2膜钝化结合，在SIPOS膜沉积后，利用LPCVD在其表面继续生长一层致密的SiO2膜，提升了产品能力。