一种单片集成的三质量MEMS电容差分式三轴加速度计的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201810108278.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108303567B | 公开（公告）日 | 2020-04-24 |
| 申请公布号 | CN108303567B | 申请公布日 | 2020-04-24 |
| 分类号 | G01P15/125;B81B7/02;B81C1/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 郭小伟;李绍荣;张孔欣;王毅 | 申请（专利权）人 | 扬州杰利半导体有限公司 |
| 代理机构 | 扬州市苏为知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 扬州杰利半导体有限公司 |
| 地址 | 225008 江苏省扬州市邗江区维扬经济开发区创业园中路26号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种单片集成的三质量MEMS电容差分式三轴加速度计的制备方法。涉及传感器领域，具体涉及单片集成的三质量MEMS电容差分式三轴加速度计的制备方法。此三轴加速度计三轴有各自的质量块，且将X、Y、Z三轴加速度计集成在单个基片，X、Y轴加速度计分列在Z轴加速度计两边，各个轴向采用平板差分式电容。本发明中的加速度计采用三个质量块，三轴之间交叉干扰最小，稳定性好；X、Y、Z三个方向均采用平板差分式电容检测，检测准确性高；采用SOI硅片工艺，三轴加速度计同时成型，工艺简单，易于批量生产，可重复度高。与现有的单片集成三轴加速度计一样，具有体积小，无需人工校准等优点。 |
