蒸镀坩埚组件
基本信息
| 申请号 | CN201921366837.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210237756U | 公开（公告）日 | 2020-04-03 |
| 申请公布号 | CN210237756U | 申请公布日 | 2020-04-03 |
| 分类号 | C23C14/30(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 游佩武;王毅 | 申请（专利权）人 | 扬州杰利半导体有限公司 |
| 代理机构 | 扬州市苏为知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 扬州杰利半导体有限公司 |
| 地址 | 225008江苏省扬州市邗江区维扬经济开发区创业园中路26号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 蒸镀坩埚组件。涉及蒸镀设备，尤其涉及蒸镀坩埚组件。提供了一种结构简单，提高工作效率的蒸镀坩埚组件。包括铜坩埚，其特征在于，还包括石墨坩埚和支撑组，所述石墨坩埚通过支撑组设在铜坩埚内，所述支撑组包括支撑体和四个弹簧，所述支撑体设在铜坩埚的底部、且用于支撑石墨坩埚，四个弹簧呈环形设在铜坩埚的内壁，所述石墨坩埚位于四个弹簧之间。本实用新型方便加工，操作可靠。 |
