晶片加工用立式舟
基本信息
申请号 | CN202022678547.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212991061U | 公开(公告)日 | 2021-04-16 |
申请公布号 | CN212991061U | 申请公布日 | 2021-04-16 |
分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 李晓佳;王毅 | 申请(专利权)人 | 扬州杰利半导体有限公司 |
代理机构 | 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 葛军 |
地址 | 225008江苏省扬州市邗江区维扬经济开发区创业园中路26号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 晶片加工用立式舟。提供了一种结构简单,提高使用可靠性和适应性的晶片加工用立式舟。包括瓦片状舟体和支撑组件,所述支撑组件包括一对对称设置的舟头和一对平行设置的支撑棒,一对支撑棒连接在一对舟头之间,所述舟体连接在一对支撑棒上、且位于一对舟头之间;所述舟头包括立板一、立板二和一对平行设置的侧板,所述立板一平行于立板二,一对侧板连接在立板一和立板二之间,所述立板一和立板二之间形成推拉槽。本实用新型方便晶片排片放置,操作可靠,在需要进行不同规格的晶片排放时,通过挡板进行分隔,方便可靠。 |
