晶片加工用立式舟

基本信息

申请号 CN202022678547.0 申请日 -
公开(公告)号 CN212991061U 公开(公告)日 2021-04-16
申请公布号 CN212991061U 申请公布日 2021-04-16
分类号 H01L21/673(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李晓佳;王毅 申请(专利权)人 扬州杰利半导体有限公司
代理机构 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 葛军
地址 225008江苏省扬州市邗江区维扬经济开发区创业园中路26号
法律状态 -

摘要

摘要 晶片加工用立式舟。提供了一种结构简单,提高使用可靠性和适应性的晶片加工用立式舟。包括瓦片状舟体和支撑组件,所述支撑组件包括一对对称设置的舟头和一对平行设置的支撑棒,一对支撑棒连接在一对舟头之间,所述舟体连接在一对支撑棒上、且位于一对舟头之间;所述舟头包括立板一、立板二和一对平行设置的侧板,所述立板一平行于立板二,一对侧板连接在立板一和立板二之间,所述立板一和立板二之间形成推拉槽。本实用新型方便晶片排片放置,操作可靠,在需要进行不同规格的晶片排放时,通过挡板进行分隔,方便可靠。