ZMO靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110381326.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113073302A | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN113073302A | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I;C23C4/10（2016.01）I;C23C4/16（2016.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张玉玲;甘志俭 | 申请（专利权）人 | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 孔令聪 |
| 地址 | 215200江苏省苏州市吴江区汾湖经济开发区汾杨路东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种ZMO靶材及其制备方法。ZMO靶材的制备方法包括如下步骤：将ZnO粉末、MgO粉末、Al2O3粉末、分散剂、粘接剂和水混合均匀，研磨后得到浆料；将浆料进行喷雾造粒，得到ZMO粉体；将ZMO粉体进行烧结，得到ZMO烧结粉体；在保护气体氛围下，将ZMO烧结粉体热喷涂于背靶上，得到ZMO靶坯；以及将ZMO靶坯进行抛光和加工处理，得到ZMO靶材。上述ZMO靶材的制备方法工艺简单，有利于提高生产效率。经试验证明，本发明的上述ZMO靶材的制备方法制备得到ZMO靶材的相对密度≥90％，ZMO靶材的电阻率≤5×10Ω·cm，因此，通过上述ZMO靶材的制备方法能够得到致密度和导电性良好的高性能ZMO靶材。此外，本发明还涉及一种ZMO靶材的制备方法。 |
