ZnSn合金靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110403534.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113308672A | 公开（公告）日 | 2021-08-27 |
| 申请公布号 | CN113308672A | 申请公布日 | 2021-08-27 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C22C13/00（2006.01）I;C22C18/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张玉玲;甘志俭 | 申请（专利权）人 | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 孔令聪 |
| 地址 | 215200江苏省苏州市吴江区汾湖经济开发区汾杨路东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种ZnSn合金靶材及其制备方法。ZnSn合金靶材的制备方法，包括如下步骤：将Zn粉末和Sn粉末混合均匀，得到混合粉体；对混合粉体进行预压成型，压力为400T以上并保压处理，得到ZnSn合金毛坯；采用冷等静压的工艺对ZnSn合金毛坯进行强化处理，得到ZnSn合金靶坯；以及对ZnSn合金靶坯进行绑定成型，得到ZnSn合金靶材。本发明技术方案的ZnSn合金靶材的制备方法，采用粉末状态的原料Zn和Sn，之后先将混合粉体预压得到具有初步形状的ZnSn合金毛坯，再采用冷等静压进行强化处理，能够得到致密度和晶粒良好的高性能ZnSn合金靶材。 |
