导电锌-锡氧化物靶材及其制备方法与应用专利查询专利号|摘要-满商公司网

导电锌-锡氧化物靶材及其制备方法与应用

基本信息

申请号	CN202110361835.X	申请日	-
公开（公告）号	CN113087519A	公开（公告）日	2021-07-09
申请公布号	CN113087519A	申请公布日	2021-07-09
分类号	C04B35/453（2006.01）I;C04B35/457（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/632（2006.01）I;C04B35/634（2006.01）I;C04B35/636（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I	分类	水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
发明人	张玉玲;甘志俭	申请（专利权）人	基迈克材料科技（苏州）有限公司
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	李美
地址	215200江苏省苏州市吴江区汾湖经济开发区汾杨路东侧
法律状态	-

摘要

本发明靶材制备领域，特别是涉及一种导电锌‑锡氧化物靶材及其制备方法与应用。本发明通过将5～20质量份的SnO粉体、80～95质量份的SnO2粉体和辅料进行预处理得到SnOx粉体，再将SnOx粉体与ZnO粉体混合造粒、加工成型、烧结，即可得到导电的锌‑锡氧化物靶材。SnO2是满价氧化物不导电，SnOx中由于失去一部分氧，造成氧空位缺陷，形成了P型半导体从而能实现导电；一定比例的用量可以将SnOx粉体中X的取值范围控制在1.80～1.95，从而将靶材电导率维持在合理范围内，因此，在将靶材运用在后续镀膜工序中时，既保证了镀膜效率，又能有效地控制镀膜成本，无需在镀膜工序中大量填充氧气，镀膜效果更好，且使用寿命更长。