一种用于ICP-MS的阀门装置及真空系统
基本信息
| 申请号 | CN202210238351.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114623277A | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN114623277A | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | F16K31/04（2006.01）I;F16K31/50（2006.01）I;F16K3/02（2006.01）I;F16K3/316（2006.01）I;F16K3/314（2006.01）I;F16K37/00（2006.01）I;G01N27/626（2021.01）I;H01J49/04（2006.01）I;H01J49/24（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 许梦祥;王冕;梁炎;郭茂坤 | 申请（专利权）人 | 瑞莱谱（杭州）医疗科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州易中元兆专利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 310052浙江省杭州市滨江区建业路511号华创大厦17层1701室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于ICP‑MS的阀门装置，阀门装置设于ICP‑MS仪第一级真空室与第二级真空室之间，所述阀门装置包括阀座，阀座内设有丝杆，丝杆一端连接密封板，丝杆另一端连接驱动电机，阀座还连接导向装置，所述密封板置于导向装置内滑动构成第一级真空室与第二级真空室之间的联通或分隔。本发明还公开了设有上述阀门装置的真空系统。本发明控制电机输出信号，实现对阀门位移速度、位移距离的精准控制，相比气缸动作的精度更高，使真空系统更可靠，提升了仪器的使用寿命与稳定性。 |
