一种快速定位晶圆中心的装置
基本信息
| 申请号 | CN202011620816.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112729115A | 公开（公告）日 | 2021-04-30 |
| 申请公布号 | CN112729115A | 申请公布日 | 2021-04-30 |
| 分类号 | G01B11/00;H01L21/66;H01L21/68 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 沈凯 | 申请（专利权）人 | 芯钛科半导体设备（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁云 |
| 地址 | 200070 上海市静安区共和新路912号1102-1室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种快速定位晶圆中心的装置，该装置包括至少两组对射的光电传感器组，所述的光电传感器组包括发射传感器(1)和接收传感器(2)，所述的光电传感器组用于晶圆从发射传感器(1)和接收传感器(2)之间水平移动时定位晶圆中心，所述的晶圆水平移动时，所述的发射传感器(1)的光信号垂直于晶圆水平移动的平面，该装置还包括用于获取接收传感器(2)接收信号并定位晶圆中心的处理器；所述的处理器根据接收传感器(2)接收信号确定晶圆水平移动通过时晶圆的圆周上的至少两条弦，并根据两条弦计算晶圆中心点位置。与现有技术相比，本发明具有结构简单、定位快速精准等优点。 |
