一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置
基本信息
| 申请号 | CN202011619393.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112670216A | 公开（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申请公布号 | CN112670216A | 申请公布日 | 2021-04-16 |
| 分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 沈凯 | 申请（专利权）人 | 芯钛科半导体设备（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁云 |
| 地址 | 200070 上海市静安区共和新路912号1102-1室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于自动识别晶圆盒中物件的装置，包括：加热组件，用于热辐射晶圆盒(1)中处于表面的物件；测温组件，用于获取晶圆盒(1)中处于表面的物件的温度变化曲线；处理器，用于根据温度变化曲线识别晶圆盒(1)中处于表面的物件的种类。与现有技术相比，本发明具有结构简单、识别准确度高等优点。 |
