一种用于晶圆中心自动定位的线接触晶圆台盘、装置
基本信息
| 申请号 | CN202011619423.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112670228A | 公开（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申请公布号 | CN112670228A | 申请公布日 | 2021-04-16 |
| 分类号 | H01L21/683;H01L21/677 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 沈凯;戴直义 | 申请（专利权）人 | 芯钛科半导体设备（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁云 |
| 地址 | 200070 上海市静安区共和新路912号1102-1室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于晶圆中心自动定位的线接触晶圆台盘、装置，所述的晶圆台盘包括圆柱台(1)，所述的圆柱台(1)上表面设有用于支承晶圆的圆锥面(2)，所述的圆锥面(2)与所述的圆柱台(1)同轴且圆锥面(2)顶点朝向圆柱台(1)下底面方向，当所述的晶圆置于所述的圆锥面(2)上时，所述的晶圆边缘与所述的圆锥面(2)线接触，所述的晶圆中心与圆锥面(2)同轴，所述的圆柱台(1)还设有用于将该圆柱台(1)固定在外部台面上的固定孔(3)。用于晶圆中心自动定位的装置包括晶圆台盘和用于抓取晶圆(4)的机械手(5)。与现有技术相比，本发明具有结构简单、可靠等优点。 |
