一种拾取晶圆盒中透气材料的装置
基本信息
| 申请号 | CN202110166392.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112802791A | 公开（公告）日 | 2021-05-14 |
| 申请公布号 | CN112802791A | 申请公布日 | 2021-05-14 |
| 分类号 | H01L21/683 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 沈凯 | 申请（专利权）人 | 芯钛科半导体设备（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁云 |
| 地址 | 200070 上海市静安区共和新路912号1102-1室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，该装置包括伯努利盘（1）、导流盘（2）和气管接头（3），所述的导流盘（2）固定在伯努利盘（1）下表面中间区域并与伯努利盘（1）之间形成空气流通间隙，所述的空气流通间隙通过气管接头（3）连接连通至气源，所述的导流盘（2）用于将输入至空气流通间隙中的气流向伯努利盘（1）周侧导通分散。与现有技术相比，本发明实现了透气材料的自动化拾取，无需人工参与，大大提高生产效率，降低人力成本。 |
