微机电系统传感器、其制造方法及电子设备
基本信息
| 申请号 | CN202111315809.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114148986A | 公开（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申请公布号 | CN114148986A | 申请公布日 | 2022-03-08 |
| 分类号 | B81C1/00（2006.01）I;B81B7/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 邹泉波;周良;丁凯文;张贺存;李刚;周汪洋;赵海轮;冷群文 | 申请（专利权）人 | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京博雅睿泉专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 王永亮 |
| 地址 | 266101山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 公开了一种微机电系统传感器、其制造方法及电子设备。该制造方法包括：在器件衬底上的牺牲层上形成微机电系统传感器的器件层，其中，所述器件层包括位于牺牲层上的机械层和位于机械层上的感测层，以及所述机械层中与器件衬底中要形成的背洞对应的部分是封闭的；在所述器件衬底及牺牲层中形成背洞；以及在机械层中形成与背洞连通的连通沟槽。 |
