静电微机电系统换能器、制造方法及电子设备
基本信息
| 申请号 | CN202111314136.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114148985A | 公开（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申请公布号 | CN114148985A | 申请公布日 | 2022-03-08 |
| 分类号 | B81B7/02（2006.01）I;B81B7/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I;H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 邹泉波 | 申请（专利权）人 | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京博雅睿泉专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 柳岩 |
| 地址 | 266101山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开公开了一种静电微机电系统换能器、制造方法及电子设备。该静电微机电系统换能器包括：第一电极；相对于第一电极能移动的第二电极；以及位于第一电极和第二电极之间的电介质层，其中，所述电介质层包括标准部分和泄漏部分，所述标准部分的材料是标准电介质材料，所述泄漏部分的材料是泄漏电介质材料。 |
