微机电系统压电麦克风、其制造方法及电子设备
基本信息
| 申请号 | CN202111314139.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114143687A | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN114143687A | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | H04R17/02（2006.01）I;H04R31/00（2006.01）I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 邹泉波;王喆 | 申请（专利权）人 | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京博雅睿泉专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 王永亮 |
| 地址 | 266101山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 公开了一种微机电系统压电麦克风、其制造方法及电子设备。该制造方法包括：在器件衬底上形成压电麦克风器件层，其中，所述器件衬底是激光透明的；对器件衬底进行处理以形成背洞；以及通过从所述器件衬底侧照射激光，利用激光剥离从所述器件衬底释放所述压电麦克风器件层，其中，照射激光的窗口限定释放所述压电麦克风器件层的边界。 |
