一种显示面板及其制造方法
基本信息
申请号 | CN201910911205.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110544672B | 公开(公告)日 | 2021-10-08 |
申请公布号 | CN110544672B | 申请公布日 | 2021-10-08 |
分类号 | H01L21/77;H01L27/12 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 易志根;潘明超;殷大山 | 申请(专利权)人 | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 |
代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 许静 |
地址 | 210033 江苏省南京市栖霞区天佑路7号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种显示面板及其制造方法,显示面板的其制造方法,包括如下步骤:形成图像化第一半导体层和第二半导体层;首先整面覆盖栅极绝缘层,然后开设位于第一半导体层上的第三接触孔和第四接触孔以及开设位于第二半导体层上的第五接触孔和第六接触孔;对第三接触孔和第四接触孔内的第一半导体层和第五接触孔和第六接触孔内的第二半导体层进行氢等离子体处理处理;形成图形化的第一栅极、连接电极和第二栅极。本发明显示面板,在栅极绝缘层上形成四个接触孔不会造成半导体层的边缘UnderCut(底切)的异常,减少了保护多个TFT开关的驱动电路的面积,提高开口率,同时能简化工艺。 |
