一体化顶喷式蚀刻机

基本信息

申请号 CN201721802120.9 申请日 -
公开(公告)号 CN207877585U 公开(公告)日 2018-09-18
申请公布号 CN207877585U 申请公布日 2018-09-18
分类号 C03C15/00 分类 玻璃;矿棉或渣棉;
发明人 彭寿;茆令文;鲍兆臣;张少波;徐翠珍;杨金发;谢加加;唐寿武;陶明山 申请(专利权)人 凯盛科技股份有限公司
代理机构 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 代理人 陈俊
地址 233010 安徽省蚌埠市高新区黄山大道8009号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一体化顶喷式蚀刻机,包括蚀刻仓、储酸槽、储水槽与鼓风机,蚀刻仓内设有喷淋管,喷淋管设有喷嘴,喷嘴下方设有蚀刻篮具承载台;喷淋管入口连接有喷淋总管,储酸槽通过酸液管与喷淋总管相连,储水槽通过清洗水管与喷淋总管相连,酸液管的管路设有酸液循环泵与酸液电动阀,清洗水管的管路设有清洗循环泵与清洗电动阀;蚀刻仓底部设有三通阀,三通阀的进口与蚀刻仓底部相连通、两个出口分别与储酸槽及储水槽顶部相连通;鼓风机通过鼓风管与喷淋总管相连,鼓风管管路设有电动风阀;将传统蚀刻机的蚀刻部、装载部与清洗部融合在一个蚀刻仓内,极大地缩减了蚀刻机的体积,提高喷淋效率。