一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座
基本信息
| 申请号 | CN201420237880.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203820882U | 公开（公告）日 | 2014-09-10 |
| 申请公布号 | CN203820882U | 申请公布日 | 2014-09-10 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵宏清;刘晓文 | 申请（专利权）人 | 嘉程永丰科技（北京）有限公司 |
| 代理机构 | 济南泉城专利商标事务所 | 代理人 | 李桂存 |
| 地址 | 251200 山东省德州市禹城市高新区振兴大道汉能光伏产业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座。本一种具有独立冷却水系统的磁场可移动靶座，包括靶基板、磁钢组件、靶材和对磁钢组件起到调节移动作用的微调装置，该微调装置通过连接座与磁钢组件相连，磁钢组件外围设有U型冷却基座，U型冷却基座内嵌入U型冷却水管，U型冷却基座底部安装靶材；微调装置包括定位左档、可滑动中档、定位右档，三档中间间隔以靶座磁场暗区为基础，可滑动中档通过螺母连接微调丝杆，微调丝杆左、右端部均通过支撑轴承固定于定位左、右档上，微调丝杆端部边缘设有旋转手柄，可滑动中档通过连接座与磁钢组件相连。本实用新型使靶材消耗从V型结构变成U型结构，方便快捷的提高靶材利用率。 |
