一种工艺尾气处理系统
基本信息
| 申请号 | CN201210126725.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102634772B | 公开（公告）日 | 2017-02-08 |
| 申请公布号 | CN102634772B | 申请公布日 | 2017-02-08 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王超 | 申请（专利权）人 | 嘉程永丰科技（北京）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 102209 北京市昌平区北七家镇宏福创业园15号院 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种工艺尾气处理系统，具体地讲是涉及一种低压化学气相沉积反应工艺中的特殊气体尾气处理系统。该系统包括与反应腔室尾气出口相连通的真空管路和与真空泵组连通的真空管路出气口，还包括设于真空管路内部的、可拔插的尾气补集装置，尾气补集装置与真空管路的末端密封卡合连接，真空管路出气口设于真空管路的侧壁上。该系统结构相对简单，能够大幅减少未完全反应的二乙基锌气体进入真空泵组反应生成氧化锌的量，明显延长真空泵组的运行时间以及机械寿命，提高设备稼动率和工艺产能，降低使用成本，且易于维护。 |
