一种加热板支撑定位装置
基本信息
| 申请号 | CN201110428665.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102418087B | 公开（公告）日 | 2016-06-22 |
| 申请公布号 | CN102418087B | 申请公布日 | 2016-06-22 |
| 分类号 | C23C16/46(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 崔军;辛科;吴国发 | 申请（专利权）人 | 嘉程永丰科技（北京）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 101407 北京市怀柔区雁栖工业开发区五区36号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种加热板支撑定位装置，具体地讲是涉及一种化学气相沉积工艺中加热板支撑定位装置。该装置包括加热板和固定支撑装置，固定支撑装置下端与反应腔室底部连接，加热板上的四个角为经切割的斜边，斜边与通过加热板中心的对角线呈90度；加热板两个长边的正中间位置和四个斜边均设有与固定支撑装置相连接、固定的单元；固定支撑装置上端与加热板可调式连接。该装置结构简单、能够解决加热板支撑和定位的问题，同时保持加热板温度均匀性，防止热损失，还可调节加热板的水平，且拆卸维护方便。 |
