一种远红外硅基超透镜增透膜及超透镜

基本信息

申请号 CN202022010432.4 申请日 -
公开(公告)号 CN213903843U 公开(公告)日 2021-08-06
申请公布号 CN213903843U 申请公布日 2021-08-06
分类号 G02B1/115(2015.01)I;G02B3/00(2006.01)I 分类 光学;
发明人 郝成龙;谭凤泽;朱健 申请(专利权)人 深圳迈塔兰斯科技有限公司
代理机构 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 王珂瑜
地址 518101广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇生物工程有限公司6号楼619
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型实公开了一种远红外硅基超透镜增透膜及超透镜,远红外硅基超透镜增透膜包括依次设置的基底层、Ge层、相互交替的ZnS层和YF3层;其中所述Ge层和所述YF3层不相邻,所述远红外硅基超透镜增透膜的最外层为ZnS层,所述Ge层、相互交替的所述ZnS层和所述YF3层的厚度之和大于300nm,所述远红外硅基超透镜增透膜除所述基底层外包括4层以上。通过在超透镜的平面基底和微纳结构面上镀增透膜来提高硅基超透镜在远红外波段的透过率。相比现有的红外超透镜,本实用新型的远红外硅基超透镜增透膜有效提高了超透镜的宽谱透过率,且膜层致密,膜层间应力相匹配、附着力强,且远红外硅基超透镜增透膜制备简单。