一种深紫外双光束激光系统

基本信息

申请号 CN202021325188.4 申请日 -
公开(公告)号 CN212209999U 公开(公告)日 2020-12-22
申请公布号 CN212209999U 申请公布日 2020-12-22
分类号 H01S3/08(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 尚凡杰;林杰;杨敬树;汤绍富;潘登杲;章鹏飞;徐康伟;陈涛 申请(专利权)人 浙江富春江环保科技研究有限公司
代理机构 杭州信义达专利代理事务所(普通合伙) 代理人 浙江富春江环保科技研究有限公司
地址 311401浙江省杭州市富阳区东洲街道江滨东大道138号第一幢
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种深紫外双光束激光系统,涉及激光系统技术领域。包括激光器、二倍频晶体、三倍频晶体、波长分离镜、谐振腔、合束片和五倍频晶体;所述激光器射出1064nm激光形成第一光路,所述第一光路上依次设置有二倍频晶体、三倍频晶体、波长分离镜、谐振腔,所述波长分离镜分离出一路532nm激光形成第二光路,谐振腔返回一路355nm激光形成第三光路;所述合束片设置于第二光路与第三光路的相交处,合成一路包含355nm激光和532nm激光的复合光形成第四光路,所述五倍频晶体设置于第四光路上。本实用新型由一个激光器同时输出两束满足要求的深紫外激光,降低了二噁英检测中激光系统的成本。