刻蚀机腔室内衬
基本信息
| 申请号 | CN202121629430.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215418099U | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN215418099U | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘峰;苏榕城 | 申请（专利权）人 | 苏州工业园区雨竹半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京权智天下知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王新爱 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了刻蚀机腔室内衬，包括与等离子体刻蚀机反应腔内壁相贴合的柱形中空的内衬本体，所述内衬本体的一侧开设有与等离子体刻蚀机反应腔基片进出口位置对应的开口，所述内衬本体于所述开口的相对一侧开设有T形开口，所述T形开口的两侧沿内衬本体周向开设有若干个与等离子体刻蚀机反应腔的分子泵抽气孔位置对应的匀流槽孔，所述T形开口的两侧内壁上端一体连接有垂直于内衬本体外表面的悬挂片，所述悬挂片搭接于等离子体刻蚀机反应腔内壁。本实用新型能够在保护腔室内壁同时加快抽气速率，能够减少附着在腔室内壁上的刻蚀沉积物，使机台内部气体浓度增加，使机台在刻蚀中，增加刻蚀速率，减少刻蚀时间。 |
