一种半导体黄光设备显影机抽风管路气液分离装置
基本信息
| 申请号 | CN202121632847.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215340694U | 公开（公告）日 | 2021-12-28 |
| 申请公布号 | CN215340694U | 申请公布日 | 2021-12-28 |
| 分类号 | G03F7/30（2006.01）I;H01L21/027（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李鑫;朱书辉 | 申请（专利权）人 | 苏州工业园区雨竹半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京权智天下知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王新爱 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种半导体黄光设备显影机抽风管路气液分离装置，涉及气液分离装置技术领域，包括分离盒、中转盒、通入管、自动阀、输送管、分离室、排出管、排液管、存液盒、齿条、浮板、转动轴、复位弹簧、卡勾、卡槽和按钮。本实用通过设置分离盒、分离室、存液盒和排液管起到了对通风管路进行气液分离的作用，可避免抽风管路的抽风值受到影响，保障了显影效果，同时其操作简单、拆装方便，提高了操作人员的维护效果，综合使用效果较佳，还通过设置齿条、浮板、转动轴和传动齿轮起到了实时监测存液盒中废液储量的作用，避免了无法及时了解废液存量，而导致其溢出的情况发生，便于操作人员及时进行清理，便于进行使用。 |
