一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯
基本信息
| 申请号 | CN202122887769.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216909553U | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN216909553U | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | B01D46/10（2006.01）I;B01D46/78（2022.01）I;B01D46/48（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 刘峰;吴铭钦 | 申请（专利权）人 | 苏州工业园区雨竹半导体有限公司 |
| 代理机构 | 苏州拓云知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于化学气相沉积或蚀刻后的高粉尘尾气处理滤芯，包括滤芯，所述滤芯的底部通过固定机构连接有转轴，所述转轴的外壁套设有轴套，所述轴套的内部转轴的外壁由外到内依次对称设有轴承和磁极块，所述磁极块之间转轴的外壁上套设有磁铁，本实用新型通过设有的转轴、轴套、轴承、磁极块、磁铁磁流体液和排气口之间的配合使用，使其能够避免对高粉尘尾气处理时，防止粉尘堵塞滤芯孔，并通过高速旋转滤芯将粉尘甩出以通过滤筒进行收集，提高了滤芯和帮浦的寿命；通过设有的连接头、固定块、连接块、螺杆和限制块之间的配合使用，使其能够便于将滤芯与转轴连接固定，同时也方便拆卸更换滤芯。 |
