一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202122886955.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216704967U | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN216704967U | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | B05D3/02（2006.01）I | 分类 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
| 发明人 | 刘峰;吴铭钦 | 申请（专利权）人 | 苏州工业园区雨竹半导体有限公司 |
| 代理机构 | 苏州拓云知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种软性基板表面涂布光阻的预热处理装置，包括预热座，所述预热座的上方设有预热罩，所述预热罩的顶部设有调节架，所述调节架一侧开设有滑槽，所述滑槽内部设有丝杆，本实用新型通过设有的加热架与红外线加热管的使用，能够对基板上的光阻作热处理，让光阻微硬化，传送时即可避免因软性基板变形而造成光阻流动，从而使光阻厚度均匀，同时配合设有的调节架、丝杆、电机、滑板和拉杆的使用，使其能够改变红外线加热管与基板之间距离，使其加热效果更好；通过设有的连接头、插杆、拉板、限制杆和弹簧的配合使用，使其能够方便加热架和红外线加热管的拆装，使其便于更换或维修。 |
