一种便于安装且检测范围广的刻蚀机刻蚀终点检测系统
基本信息
| 申请号 | CN202121645803.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215374016U | 公开（公告）日 | 2021-12-31 |
| 申请公布号 | CN215374016U | 申请公布日 | 2021-12-31 |
| 分类号 | G01D11/00（2006.01）I;G01D11/30（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李鑫;陈荣华 | 申请（专利权）人 | 苏州工业园区雨竹半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京权智天下知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王新爱 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种便于安装且检测范围广的刻蚀机刻蚀终点检测系统，包括底板，所述底板的顶部固定连接有调节板，所述调节板通过水平调节机构活动连接有支撑板，所述支撑板的内部开设有锁定槽，所述支撑板的一侧通过锁定机构固定连接有固定座，所述固定座的另一侧固定连接有固定套筒，利用水平调节机构使得操作人员可以快速调节检测探头的水平位置，从而使得本装置可以根据不同具体参数来调节刻蚀终点的检测范围，进而大大提高了本装置的适用范围和实用性，并使得本装置可以通过锁定机构快速将检测探头安装在支撑板上，从而大大提高了检测探头的安装和拆卸效率，进而使得本装置可以更方便的对检测探头进行更换和维修。 |
