一种废晶收集装置
基本信息
申请号 | CN202121666754.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215539343U | 公开(公告)日 | 2022-01-18 |
申请公布号 | CN215539343U | 申请公布日 | 2022-01-18 |
分类号 | B01D46/24(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
发明人 | 李鑫;尹林 | 申请(专利权)人 | 苏州工业园区雨竹半导体有限公司 |
代理机构 | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 王新爱 |
地址 | 215000江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种废晶收集装置,涉及废晶收集领域,包括固定板,所述固定板的一端插接有排气管,所述排气管的一端与连接器的内侧固定连接,所述连接器的底端设置有收集箱,所述收集箱的一侧设置有连接板,所述连接板的一侧设置有连接管。本实用新型通过连接管、过滤器、滤芯和反冲管的使用,使得使用过程中气流呈流动状态,不会出现气流混乱,导致废晶被收集箱的内壁击碎产生大量碎屑和粉尘,通过滤芯的过滤,避免废晶被排,通过驱动电机、气泵的使用,产生气流反冲气流,方便将滤芯一侧堵塞粘连的废晶吹落出,使得滤芯设置保持良好的过滤能力,同时方便将会收集箱的废晶排出。 |
