一种缺陷检测方法、存储介质和检测系统
基本信息
| 申请号 | CN202110473146.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113295698A | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN113295698A | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | G01N21/88（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 魏伟;曹葵康;纪昌杰;谷孝东;刘明星 | 申请（专利权）人 | 苏州天准软件有限公司 |
| 代理机构 | 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐颖聪 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市高新区科灵路78号2号楼502室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种缺陷检测方法、存储介质和检测系统，属于图像数据处理领域，可应用于半导体领域的表面缺陷检测，方法包括产品特征点定位、检测区提取、图像预处理、缺陷检测和缺陷筛选。图像预处理对提取的检测区区域进行增强或拉伸调节，将检测区的差异统计整体趋势自动调节在限制设定的范围之内，而缺陷检测则采用了粗检测和精检测，以此很好的解决了待测件间差异导致检测效果差、精度低的问题，可广泛推广至硅片崩边等瑕疵检测中。 |
