一种石墨承载盘烘烤装置
基本信息
| 申请号 | CN202122529268.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215713357U | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN215713357U | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | C23C16/44（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 孙积存;马良来 | 申请（专利权）人 | 昊石新材料科技南通有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226399江苏省南通市高新区金源路111号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种石墨承载盘烘烤装置，包括有可开合的箱体，箱体包括有安装在两侧的进气管、出气管；箱体内部安装有双层结构的烘烤板；烘烤板包括有上位烘板、下位烘板，上位烘板、下位烘板相对一侧为三角锯齿结构设定，且相对一侧为顶面，上位烘板与下位烘板之间形成有夹层，夹层置于进气管轴心处，且进气管管径大于夹层的高度，使得气体能够对石墨承载盘的上下表面同时通气，无需翻面，降低工人的工作量，提高烘干的效果，使得气体能够对石墨承载盘的上下表面同时通气，无需翻面，降低工人的工作量，提高烘干的效果。 |
