一种高强高韧碳化硅涂层石墨载盘
基本信息
| 申请号 | CN202121972006.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215713365U | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN215713365U | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | C23C16/458（2006.01）I;C23C16/32（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 孙积存;马良来 | 申请（专利权）人 | 昊石新材料科技南通有限公司 |
| 代理机构 | 北京智行阳光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 谭波 |
| 地址 | 226300江苏省南通市高新区金源路111号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种高强高韧碳化硅涂层石墨载盘，包括本体，所述本体的顶部开设有载槽，所述本体的正下方设有螺纹环，所述螺纹环的底部设有卡弧，所述卡弧的底部开设有卡槽，所述卡槽有若干个并圆周阵列分布，所述卡槽的正下方设有套筒，所述套筒的顶部滑动套设有支撑杆，所述支撑杆的底部固定设有卡接在卡槽内的卡块，所述套筒的底部设有朝向本体外侧设置的支撑脚，所述支撑脚朝向本体的外侧设置，所述本体的底部开设有螺纹槽，所述螺纹环螺纹安装在螺纹槽内，所述套筒上设有调节支撑杆在套筒内伸出长度的卡杆。 |
