一种沉积炉进气流量自动控制装置
基本信息
| 申请号 | CN202121971961.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215721909U | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN215721909U | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | F16M11/04（2006.01）I;F16F15/08（2006.01）I;H05K5/02（2006.01）I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 孙积存;马良来 | 申请（专利权）人 | 昊石新材料科技南通有限公司 |
| 代理机构 | 北京智行阳光知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 谭波 |
| 地址 | 226300江苏省南通市高新区金源路111号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种沉积炉进气流量自动控制装置，包括气体流量控制器，所述气体流量控制器底部的两侧均设置有连接端，所述气体流量控制器顶部的一侧设置有操控显示端，所述气体流量控制器的外表面对称设置有两个固定板，两个所述固定板的两端均固定连接有固定块，四个所述固定块的中部均开设有通孔，四个所述通孔的内部均插接有活动杆，四个所述活动杆的外表面均套设有弹簧，四个所述活动杆的一端分别与防护框的四个边角固定连接，且防护框的位置与操控显示端的位置相对应。通过设置防护机构，以此保护气体流量控制器上的操控显示端，避免发生损坏。 |
