一种碳化硅涂层用高效沉积炉
基本信息
| 申请号 | CN201922141234.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211546661U | 公开（公告）日 | 2020-09-22 |
| 申请公布号 | CN211546661U | 申请公布日 | 2020-09-22 |
| 分类号 | C23C16/32(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 黄晓峰;黄子丹 | 申请（专利权）人 | 昊石新材料科技南通有限公司 |
| 代理机构 | 郑州芝麻知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 昊石新材料科技南通有限公司 |
| 地址 | 226300江苏省南通市南通高新区金源路111号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种碳化硅涂层用高效沉积炉，包括炉壳以及炉壳内壁开设的内隔热层，所述炉壳内腔设置有托盘，所述炉壳底部开设有发热体，所述炉壳顶端开设有上隔热腔，且上隔热腔内部固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出轴处固定连接有中心转杆，且中心转杆侧表壁与托盘固定连接，所述炉壳内腔开设有隔板，且隔板上开设有第二开口，所述第二开口与托盘间隙配合，所述炉壳外侧侧表壁上开设有开口法兰。本实用新型中，采用了三腔隔离结构，实现了三个隔板隔出的三个腔体互相隔离互不干扰，采用了转盘式换料结构，实现了三组托盘上的物料便于快速的更换，同时实现了减少其余两个腔体完全打开时对于温度的损失。 |
