首页/ 国成仪器（常州）有限公司/ 专利详情

一种真空互联样品转移装置及转移方法

基本信息

申请号 CN201910572259.6 申请日 -
公开（公告）号 CN110286244A 公开（公告）日 2019-09-27
申请公布号 CN110286244A 申请公布日 2019-09-27
分类号 G01N35/10;G01N1/36 分类 测量；测试;
发明人 董国材;张祥;张金龙 申请（专利权）人 国成仪器（常州）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 213000 江苏省常州市常州西太湖科技产业园祥云路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种真空互联样品转移装置及转移方法，所述设备包括：进样室、直线传输段、圆形传样腔、抽真空装置及充气装置，所述进样室与所述直线传输段之间设置一第一阀门，以使所述进样室与所述直线传输段连通或隔断，所述圆形传样腔与二对接装置连接，并可通过所述对接装置与分别转出目标设备、转入目标设备连接，所述圆形传样腔可将样品在不同外部目标设备间传递样品。本发明的优点在于，无论转移装置是否与外部目标设备相连，目标样品始终处于超高真空的环境中，使得在样品存放及转移过程中，且能够避免不同设备间机械振动等噪声的互相干扰。