一种扫描探针显微镜样品平面方向热漂移补偿装置
基本信息
| 申请号 | CN201920150204.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209570747U | 公开（公告）日 | 2019-11-01 |
| 申请公布号 | CN209570747U | 申请公布日 | 2019-11-01 |
| 分类号 | G02B21/34（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 张祥; 梁枫; 丁帅 | 申请（专利权）人 | 国成仪器（常州）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 213149 江苏省常州市武进经济开发区祥云路6号国成 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种扫描探针显微镜样品平面方向热漂移补偿装置，包括样品托底座和样品托，样品托上设有突出，样品托底座上设有凹槽，突出与凹槽相匹配，形成滑动轨道，通过对称性设计，SPM的针尖在中间的样品附近，样品托和样品的热膨胀或收缩会以对称中心向外膨胀或向内收缩，从而使得样品中间位置相对针尖的位置保持不变。大幅减少因为样品温度升高和温度的波动而引起的样品横向热漂移。 |
