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一种五轴真空位移台

基本信息

申请号 CN202021785249.5 申请日 -
公开（公告）号 CN213302258U 公开（公告）日 2021-05-28
申请公布号 CN213302258U 申请公布日 2021-05-28
分类号 G01N35/10(2006.01)I 分类 -
发明人 董国材;张祥;梁枫;张金龙 申请（专利权）人 国成仪器（常州）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 213000江苏省常州市常州西太湖科技产业园祥云路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及真空设备,具体是一种五轴真空位移台，X向位移板与Y向位移板之间滑动连接，X向位移板或Y向位移板与压板之间滑动连接，并分别装有X向和Y向调整装置，X向位移板或Y向位移板与波纹管一端焊接，波纹管另一端与法兰盘焊接，法兰盘与X向位移板或Y向位移板之间装有Z向调整螺杆，压板与旋转调整装置底端法兰连接，偏转调整装置底端与旋转调整装置法兰连接，本发明实现在超高真空环境下的样品的立体驱动，Z向采用焊接波纹管密封，达到放出气体少的要求，中空构造，同时X、Y、Z向直线滑驱动顺畅，X、Y、Z三个方向的驱动位置可精确控制,可针对不同的角度对样品进行旋转和偏转调整，易于操作。