一种悬臂式探针寿命测算方法
基本信息
| 申请号 | CN202110234623.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113077833A | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN113077833A | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | G11C29/00（2006.01）I;G11C29/08（2006.01）I | 分类 | 信息存储; |
| 发明人 | 傅郁晓;张秀超;吴庆;闻国涛;高大会 | 申请（专利权）人 | 上海伟测半导体科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海领洋专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗晓鹏 |
| 地址 | 200013上海市浦东新区东胜路38号A区2栋2F | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种获取悬臂式探针寿命测算方法，至少包括：获取悬臂式探针的初始针长L0，设定悬臂式探针的针长报废预警值G，报废值B；获取悬臂式探针在单位批次的芯片上的着落频次X,并记录最后一次着落时悬臂式探针的针长L1；计算得到悬臂式探针系统的探针着落的单次损耗值Y；依据前述数据计算探针的使用寿命和报废所达到的频次。本技术方案提供的测算方法以实际测试数据作为支撑，科学合理的对悬臂式探针系统中探针的使用寿命进行测算，提前预警探针的使用寿命，解决了现有的处理方法只能依赖于测试机量测检查和人工发现问题的方式，避免现有处理方法的随意性和偶然性的缺陷，保障晶圆测试的有效进行。 |
