一种93K测试机与待测产品的匹配性检测系统及其检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110234625.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113075521A | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN113075521A | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | G01R31/26（2014.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 傅郁晓;杨恭亁;骈文胜;路峰;关姜维 | 申请（专利权）人 | 上海伟测半导体科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海领洋专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗晓鹏 |
| 地址 | 200013上海市浦东新区东胜路38号A区2栋2F | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种93K测试机与待测产品的匹配性检测系统及其检测方法，其中所述检测方法包括：（S1）分别被设置能够采集93K测试机的配制信息和待测晶圆的测试项有关信息；（S2）自动地接收经由采集而获取的所述93K测试机的配制信息，并将所述配制信息转录于晶圆生产厂商记载晶圆测试项有关的模板所定义的一比对模板；（S3）比对所述待测晶圆的测试项有关信息和转录于所述比对模板中的信息；和（S4）输出所述比对结果。 |
