多晶硅工艺保险丝的熔断装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202110248636.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112630628B | 公开（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申请公布号 | CN112630628B | 申请公布日 | 2021-05-18 |
| 分类号 | G01R31/28;H01H85/32 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 傅郁晓;吴庆;陈迎涛;杨栓;张丽霞 | 申请（专利权）人 | 上海伟测半导体科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海和华启核知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王仙子 |
| 地址 | 201201 上海市浦东新区东胜路38号A区2栋2F | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明揭示了一种多晶硅工艺保险丝的熔断装置及方法。本发明提供的多晶硅工艺保险丝的熔断装置包括熔断自检模块，所述熔断自检模块连接至待处理芯片的保险丝管脚，用于检测保险丝功能是否正常；熔断执行模块，第一端用于连接所述待处理芯片需要熔断的保险丝的管脚，第二端连接所述待处理芯片的低电平输出端，第三端连接所述待处理芯片的高电平输出端，从而使得电压在10nS时间内从0上升到工作电压且无向下振荡现象；以及绝缘电阻检测模块，用于检测熔断后的保险丝的电阻。本发明能够提高多晶硅工艺保险丝熔断的良率和可靠性。 |
