多晶硅工艺保险丝的熔断装置及方法

基本信息

申请号 CN202110248636.8 申请日 -
公开(公告)号 CN112630628B 公开(公告)日 2021-05-18
申请公布号 CN112630628B 申请公布日 2021-05-18
分类号 G01R31/28;H01H85/32 分类 测量;测试;
发明人 傅郁晓;吴庆;陈迎涛;杨栓;张丽霞 申请(专利权)人 上海伟测半导体科技股份有限公司
代理机构 上海和华启核知识产权代理有限公司 代理人 王仙子
地址 201201 上海市浦东新区东胜路38号A区2栋2F
法律状态 -

摘要

摘要 本发明揭示了一种多晶硅工艺保险丝的熔断装置及方法。本发明提供的多晶硅工艺保险丝的熔断装置包括熔断自检模块,所述熔断自检模块连接至待处理芯片的保险丝管脚,用于检测保险丝功能是否正常;熔断执行模块,第一端用于连接所述待处理芯片需要熔断的保险丝的管脚,第二端连接所述待处理芯片的低电平输出端,第三端连接所述待处理芯片的高电平输出端,从而使得电压在10nS时间内从0上升到工作电压且无向下振荡现象;以及绝缘电阻检测模块,用于检测熔断后的保险丝的电阻。本发明能够提高多晶硅工艺保险丝熔断的良率和可靠性。