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一种WaferID烧写防呆的系统

基本信息

申请号	CN202011523844.6	申请日	-
公开（公告）号	CN112256291B	公开（公告）日	2021-03-26
申请公布号	CN112256291B	申请公布日	2021-03-26
分类号	G06F8/61(2018.01)I;G06F11/36(2006.01)I;G06F8/70(2018.01)I	分类	计算；推算；计数;
发明人	骈文胜;傅郁晓	申请（专利权）人	上海伟测半导体科技股份有限公司
代理机构	上海领洋专利代理事务所（普通合伙）	代理人	罗晓鹏
地址	201599上海市浦东新区东胜路38号A区2栋2F
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种Wafer ID烧写防呆的系统，该系统以现有的MES系统为基础，在该系统内部至少开发订单录入模块、测试访问模块和数据比对模块；其中，订单录入模块用于自动读取并录入客户下单时实物Wafer ID的原始数据信息；测试访问模块用于与测试机实现连通，获取测试机中实时录入的Wafer ID的测试数据：数据比对模块用于将订单录入模块录入的原始数据与测试机中获取的测试数据进行比对，并分析比对结果。本技术方案在测试开始前将输入错误的信息及时比对，并反馈出来改正，避免了录入错误的信息未被发现时，出现烧写入芯片内的Wafer ID错误情况，以及由此引起的晶圆测试数据异常和晶圆损失等质量事故的出现，对芯片测试效率的提升有着深远的意义。