一种真空温场测量装置及测量方法

基本信息

申请号 CN201610749816.3 申请日 -
公开(公告)号 CN106352998B 公开(公告)日 2019-07-23
申请公布号 CN106352998B 申请公布日 2019-07-23
分类号 G01K7/04 分类 测量;测试;
发明人 余新平;张宁;卓胜 申请(专利权)人 北京四方智和科技发展有限公司
代理机构 北京智绘未来专利代理事务所(普通合伙) 代理人 北京四方创能光电科技有限公司;北京四方继保自动化股份有限公司
地址 100085 北京市海淀区上地四街9号四方大厦
法律状态 -

摘要

摘要 一种多点式真空温场测量装置及测量方法,包括多个测温热电偶、法兰盘、法兰压框;所述法兰盘匹配待测温真空设备的真空腔室的法兰孔,法兰盘上开设与测温热电偶数量对应的法兰盘螺纹孔,将测温热电偶依次旋入法兰盘螺纹孔中,并将偶丝端部固定在真空腔室中所需要的测温点上;安装热电偶后的法兰盘用法兰压框通过压紧螺钉安装在腔室法兰口,法兰盘与腔室壁间安装法兰O型圈;热电偶电源线连接至无纸记录仪上。本发明能适应不同法兰尺寸条件下的温场测定,可针对需求安装不同数量热电偶进行测温工作,有利于在单个热电偶损坏时只需更换单根热电偶,减少损失,且能更好的适应不同大小空间真空腔室的测温需求。